想當年整個芯片工業(yè)，各家包括intel ,GF, 臺積電，三星都在三星都在22nm,28nm這個節(jié)點卡了很久，想必是遇到193nm ArF的極限了。
然而193nm能做出50nm以下，1/4波長的尺度，已經(jīng)非常神奇了不是嗎?
不過這背后也存在命名問題。xx nm節(jié)點不意味著真正的結構就那么小。首先這個數(shù)字原來是指結構的half pitch，即一半的周期。而到了后來水份更多，一般是指最小feature-size。比如一排100nm周期的突起或者凹陷，突起的寬度20nm, 空隙80nm，那么不嚴格的說這也是一個20nm的工藝。
此外， 32nm 22nm 14nm只是一個技術節(jié)點的標志， 可能對應的最小結構是 60nm, 40nm, 25nm等等，總之要比標稱大不少。這個節(jié)點各家公司還不一樣，比如大家常說Intel的14nm比Samsung和臺積電的10nm密度都大等等(不置可否)。
但是如何做出遠小于一半周期的minimum-feature呢?
單從光場分布來說，一個峰或谷的寬度很可能還是突破不了衍射極限。但是可以利用光刻膠的性質!
光刻膠曝光后的溶解性依賴于曝光量，這大家都知道，但是這個依賴很不線性。通過控制這種不線性，使得在某個閾值曝光量附近，小一點的完全不會溶解，大一點的極易被溶解，那通過準確把握曝光量，就可以輕松控制最小結構的線寬。
試想一個均勻分布類似正弦波的光場，把曝光將控制到只有波峰附近那些位置能完全溶解，之外的部分溶解性不變，那么最后做出來的結構就是一個周期和正弦波一樣，但是最小寬度小的多的結構。
見下圖。黃色曲線代表的結構的凹陷要小于光場分布一個峰的寬度。
當然這種方法也不是能做出無限小的Feature。畢竟光刻膠的溶解特性哪兒有想要什么就有什么的，每一種配方的研制都非常復雜，還要和現(xiàn)有的流程工藝匹配。而且光刻膠涂層畢竟是有厚度的，表面的曝光分布和整體也不盡相同。同時它的機械性質也無法維持很窄的細節(jié)的完整性。
還有另外一些方法能將光刻膠層被激活的區(qū)域集中在比曝光光場小很多的尺度內(nèi)，包括各種玄乎的化學處理，熱處理等。
既然有了上述方法，能讓Minimum Feature Size至少小于半周期，那么接下來實現(xiàn)密度的增長就有了可能——通過多次曝光。
同樣的結構，平移一下再做一遍就多了一倍的密度。
但是實施起來并沒有那么簡單。
關鍵就是在后續(xù)曝光中要做到一個對先前結構保護凍結的步驟。最樸素的多重曝光技術就是，做一次，再做一次，可以稱作LELE(Litho-Etch-Litho_Etch)。如下圖
最上面是已經(jīng)經(jīng)過一次Patterning的保護層(藕荷色，如SiN)再加上一層光刻膠(紫色)。光刻膠在新的Mask下被刻出另一組凹槽(中間)。最后光刻膠層被去掉，留下可以進一步蝕刻的結構(下圖)。
另外一個變種是Litho-Freeze-Litho-Etch (LFLE).
第二層光刻膠直接加在第一層沒被去除但被化學凍結的光刻膠上，再來一次光刻，形成兩倍的結構。比LELE可以節(jié)省些步驟。
這一類多重曝光的特點就是流程簡單粗暴，很早就有人嘗試應用。但一個最大的問題就是，后一次光刻和前一次的對準問題。
這幾乎是一個可以讓這類方法徹底無效的巨大難關。
想要做出20nm左右的結構，那對準誤差要控制在4-5nm以下，然而可以用于實施觀察的SEM分辨率最好也就10nm!
總之這個問題確實阻礙了這種方法的應用——除了早期45nm、32nm節(jié)點的DRAM工藝(結構簡單，重復性高)，而且超光雙重曝光的情況幾乎沒有，CPU GPU芯片應該采用的并不多。接下來是另一類聰明一點的多重曝光，可以統(tǒng)稱為SADP (Self-Aligning Double Patterning).
比如Side Wall Transfer就是核心的實現(xiàn)方式。主要是利用第一層結構的Sidewall來形成兩倍的Feature, 從流程上來說省了不少事兒，而且不用考慮對準的問題。
但是這個方法對技術要求也很高，我再放一張圖：
注意看第二步的棕色材料的沉積——這一步是一個Conformal Deposition-所有表面不論取向都有類似的沉積率。而接下來第三步的蝕刻應該是一個Non-conformal Etching ——蝕刻幾乎只在垂直方向上進行，才能呈現(xiàn)出想要的效果。這兩個步驟對材料和工藝都有一定限制。
Sidewall Transfer有一個難點就是，最開始的結構的Sidewall必須夠直夠平整，不然之后補充材料的支持會有問題，形狀也可能出現(xiàn)很大偏離，導致對其下的材料層的蝕刻出現(xiàn)偏差。而且自由度明顯前一類方法高。生成的結構的寬窄，對稱性等都受到了限制。
不過這并其實并不是什么大問題，都是可以前期設計時考慮好的。主要是沒有了對準這大難題，應用范圍就廣了不少。
基于這種方法，重復一次就可以實現(xiàn)SAQP, 做20nm左右的feature不是什么問題。
還有一種比較奇葩的方法，Direct Self-Assembly——即利用保護層材料本身的Phase Seperation 實現(xiàn)一層材料就可以用來做兩次互不影響的蝕刻。
具體地說是利用某種Copolymer，比如PMMA-PS，在滿足一定分子比和物理條件的形況下，PMMA跑到一邊，PS跑到另一邊，形成很有序的交錯結構，再進行針對不同組分的蝕刻就可以Double Pattern了。
不過這個方法想來限制也很多，比如交錯結構的分布，占空比，也不是你想讓人家怎么分布就能怎么分布。而且平整度肯定比不上那些Hard Mask Material。這個方法當前應該還是主要用于學術界玩兒各種小規(guī)模簡單結構的試驗，似乎沒有應用到工業(yè)領域。
以上所述的各種方法，結合實際來看，由于真實的集成電路結構超級復雜，各種不同材料，不同區(qū)域，不同的互聯(lián)和切斷的要求，而且實際的布局是需要二維甚至三維考量的，所有這些復雜因素就構成了更多更多的難題，和捷徑，由此衍生了基于不同材料(電介質層，金屬)和不同功能區(qū)域的奇技淫巧。但是這塊太復雜了，我也不甚了解。
說了這么多怎么通過光刻之后的手段來增加密度減少線寬的，但還需要一個最核心的技術——如何把老老實實的單次曝光的Feature/周期做的最小最漂亮呢?
基于CD=k*lamda/NA, k通常為一個0.25-1之間的常數(shù)，那么首先想能提高的就是NA=nsin(像方半孔徑角)。正弦最高做到1，而在物鏡和晶圓之間加一層高折射率液體，比如水，NA就到了1.33。(應該也可以用更高折射率的油到1.4多?)。
Immersion Lithography，不多說了，EUV之前妥妥的必備技術(然而到了EUV肯定用不了了)。然后就是Off-Axis Illumination。讓光學系統(tǒng)的主光軸和照明方向不一樣，光源斜著打。
這個原理也比較直觀，就是盡可能的舍棄一些MASK的空間低頻成分，讓含有更精細結構的高頻成分進入物鏡從而成像。從原理上來講，MASK上凡是小于光照波長的高頻成分，都成為了高頻信息，所對應的光是只在橫向傳遞，而軸向極具衰減的隱失波，很大可能沒有辦法被物鏡收集。斜照明的情況下，高頻空間成分正負至少有一支有更小的衍射角從而進入物鏡，甚至從隱失波變成可以被收集的成分(當然 另外一支就被推的更遠了，不過無所謂)。最后的效果就是Wafer上的像含有更多的高頻成分，自然也就更接近Mask的形態(tài)。
Mask上面也可以做文章。首先就是采用Phase-Shift Mask。相鄰的很近的通廣孔，引入不同的相移，那么相干成像的情況下，雖然兩者各自的電場強度分布有很大重疊，但是電場疊加以后由于有(最好是pi)的相差，變成了一加一減，中心強度為零，正好分開成了兩個獨立的峰。
最后的關鍵技術是Optical Proximity Correction。
以上所說的種種技巧，都無法保證最終的結構具有完美的、橫平豎直、想圓就圓想方就方的形狀，對于2D結構更是如此。雖然說一個MOS管不需要有完美的形狀來保證工作，但是一大片密集的工作單元，互相的分離連接，是一定要保證的?？梢钥隙ǖ恼f，如果你把MASK天真的做成和最后想要的結構長一個樣子的話，那100%在65nm一下尺度你最后得到的就是一疊垃圾。
OPC的神奇如圖：
這個過程是怎么實現(xiàn)的?
我也不知道，但想必需要非常復雜的波動光學模擬方法以及無數(shù)次的實驗反饋及后續(xù)優(yōu)化。從某些角度講，OPC這一領域好像是當前FAB前沿最吃香的工作(純屬道聽途說，準確性不保證)。
最后說一下，我并不是從業(yè)者，純屬為了做課程Presentation，并且對這方面感興趣就收集了一系列材料。我一直以來的困惑就是發(fā)現(xiàn)這些材料都非常零散非常瑣碎，很少能看見大型的綜述文章或者雜志專題，不知道是由于商業(yè)機密還是什么，但能感覺到根本不入學術界的法眼。畢竟所有人都在玩兒Graphene, CNT, TMD，Single-Molecule Transistor是不是?硅?這玩意兒應該過時30年了。
我個人也有很多問題這些年來都沒能解決。比如Multi Patterning到底從哪個節(jié)點開始被廣泛采用?65?45?EUV談了這么多年，現(xiàn)在成型了嗎，14nm 10nm這兩代到底主流是什么技術?畢竟這么巨大的投資和技術轉換，沒什么可能D/E混用吧?其實想來也挺神奇的，這5年來由于技術瓶頸，半導體工藝界不知道發(fā)生了幾輪巨大的技術革新和變動，可是外界根本看不出什么大動靜，基本上每年都能簡單的小一號兒。這種產(chǎn)出的穩(wěn)定性真是有點細思極恐。
關于Sidewall部分，知乎網(wǎng)友Albert Hu做出來自己的解答：
193nm波長的光為什么能用在130nm,90nm,65nm甚至45nm的制程上?因為130nm以下柵極的多晶硅條一般使用側墻轉移(Sidewall Transfer),并不是直接使用光刻.簡單來說，側墻轉移是先用光刻等方式形成圖案。這個圖案的并不需要很精細，但是經(jīng)過一些處理，邊緣做成階梯狀且比較陡直。然后沉積一層所需材料，這樣圖案邊緣也會有一層可控制厚度的材料形成同樣的階梯。蝕刻掉上下平面的多余材料，階梯處保留下來就出現(xiàn)非常細的一條。這一條材料的寬度要看材料的選用和沉積的方式和持續(xù)時間，所以光刻波長并不起作用。它的精度要看材料(以及刻蝕材料)的“物質波長”了。
真正用光刻的是在互連層,而65nm工藝下最低一級互連層的最小間距目前也在120nm以上,還沒有達到193nm光刻的瑞利極限.使用這樣的方案，193nm的波長就可以用到90nm，65nm甚至45nm的制程上。比較特別的是，線寬因為與光刻波長失去了聯(lián)系，半代，甚至更奇特的線寬都可以在同樣的設備上完成-----80nm的生產(chǎn)設備可能和90nm的一樣，55nm和65nm一樣。半代之間甚至兩代之間的差距變得很小。線寬幾乎變成了工藝中最不重要的參數(shù)了。
