“硅光子技術(shù)及傳感應(yīng)用”研討會圓滿落幕

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2023年4月25日，“2023半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢高峰論壇”之“硅光子技術(shù)及傳感應(yīng)用”研討會在廣東深圳舉行，該研討會由麥姆斯咨詢、華強(qiáng)電子網(wǎng)、逍遙科技主辦，旨在推動光電子與微電子融合，展現(xiàn)硅光子核心技術(shù)突破，促進(jìn)硅光子傳感應(yīng)用發(fā)展。本次會議邀請了八位來自產(chǎn)業(yè)和學(xué)術(shù)領(lǐng)域的演講嘉賓，演講內(nèi)容涵蓋EDA設(shè)計軟件、硅光子芯片設(shè)計與制造、基于硅光子的激光雷達(dá)及陀螺儀等，吸引了硅光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游300多人報名參加。

“硅光子技術(shù)及傳感應(yīng)用”研討會現(xiàn)場

深圳逍遙科技有限公司（簡稱：逍遙科技）產(chǎn)品總監(jiān)陳昇祐以《光電芯片原理圖設(shè)計、仿真及版圖實現(xiàn)驗證解決方案》為主題，詳細(xì)介紹了逍遙科技開發(fā)的PIC Studio軟件，該軟件涵蓋了光電芯片設(shè)計全流程，包括芯片版圖設(shè)計工具PhotoCAD、鏈路仿真工具pSim、前后端一體化設(shè)計環(huán)境Advanced SDL，同時可集成主流有源/無源器件求解工具，可導(dǎo)入無源S參數(shù)和有源器件的物理參數(shù)，以創(chuàng)建緊湊模型完成芯片鏈路級前后仿真。PIC Studio軟件支持國內(nèi)主流的Layout Driven Flow（PhotoCAD與pSim配合實現(xiàn)），采購Advanced SDL之后還可以實現(xiàn)國際領(lǐng)先的Schematic Driven Flow。逍遙科技還發(fā)布了“免費(fèi)版PIC Studio計劃”和技術(shù)問答網(wǎng)站，一方面為全球光電芯片設(shè)計人員限量免費(fèi)提供全功能版PIC Studio軟件，另一方面開放技術(shù)問答平臺，二者結(jié)合，更好地服務(wù)光電芯片用戶群體。

深圳逍遙科技有限公司產(chǎn)品總監(jiān)陳昇祐

PIC Studio軟件

上海微技術(shù)工業(yè)研究院（簡稱：上海工研院）硅光總監(jiān)汪巍以《硅基光電子關(guān)鍵工藝與集成技術(shù)》為主題，闡述了上海工研院“超越摩爾”工藝平臺建設(shè)情況、主要設(shè)備及工藝能力，包括8英寸硅光子平臺（前段）、8英寸MEMS平臺（后段）、硅光芯片測試平臺。8英寸硅光子平臺（前段）設(shè)計產(chǎn)能為500片/月，光刻工藝節(jié)點為90nm（ASML Scanner）、180nm（Nikon Scanner）；8英寸MEMS平臺（后段）設(shè)計產(chǎn)能為3000片/月，光刻工藝節(jié)點為350nm（i-line stepper）、雙面UV aligner；硅光芯片測試平臺具有光譜、暗電流、帶寬等測試能力?！俺侥枴惫に嚻脚_為設(shè)計、設(shè)備、材料企業(yè)提供高效的研發(fā)和中試服務(wù)，實現(xiàn)從研發(fā)到小批量生產(chǎn)無縫對接，并且已建立完善的客戶IP管理與保護(hù)機(jī)制。上海工研院希望通過建設(shè)“開放共享合作共贏”的工藝平臺支持多種硅光功能模塊流片，包括光傳感、光收發(fā)、光計算等。

上海微技術(shù)工業(yè)研究院硅光總監(jiān)汪巍

上海微技術(shù)工業(yè)研究院8英寸硅光子平臺（前段）

杭州洛微科技有限公司（簡稱：洛微科技）CTO孫笑晨的演講以《硅光FMCW 4D激光雷達(dá)（LiDAR）-從芯片到產(chǎn)品化》為主題，回顧了洛微科技2018至今的發(fā)展歷程（重要里程碑事件），并從安全性、成本和商業(yè)三個維度講述了自動駕駛中使用激光雷達(dá)的必要性，同時指出FMCW作為單光子探測技術(shù)，具有很強(qiáng)的抗干擾能力，可以匹敵甚至超越ToF激光雷達(dá)的性能。經(jīng)孫笑晨以特斯拉自動駕駛演進(jìn)過程為例，分析出其感知功能目標(biāo)越來越接近利用激光雷達(dá)給出的深度和速度重建，這意味著深度場和速度場確實是必需的，因此硅光FMCW 4D激光雷達(dá)是一種解決之道。洛微科技的團(tuán)隊具備15年以上的硅光芯片研發(fā)和產(chǎn)品化經(jīng)驗，以及全棧的光電產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗積累，積累的大量的IP、Know-how和產(chǎn)品落地經(jīng)驗，目前開發(fā)的產(chǎn)品分兩個系列：一個是純固態(tài)大視場近場激光雷達(dá)D系列，用于補(bǔ)盲和避障等；另一個是硅光FMCW 4D激光雷達(dá)F系列，其中F1是主打前向的主激光雷達(dá)。

杭州洛微科技有限公司CTO孫笑晨

洛微科技開發(fā)的硅光FMCW 4D激光雷達(dá)技術(shù)

中國科學(xué)院微電子研究所（簡稱：微電子所）研究員李志華以《基于硅光子的SiN光子集成技術(shù)》為主題，介紹了微電子所硅光平臺建設(shè)情況及工藝能力，重點闡述光學(xué)SiN薄膜生長、SiN無源光子器件的研發(fā)工作，以及SiN-Ge-SOI多材料集成的研究進(jìn)展。微電子所硅光平臺建設(shè)了8英寸CMOS工藝線（超凈間~2500平米），擁有大中型工藝研發(fā)與檢測設(shè)備100多臺套，以該CMOS工藝線為支撐開發(fā)了成套硅光工藝和器件，制定設(shè)計規(guī)則和工藝規(guī)范，并形成PDK，同時配套建立了光學(xué)設(shè)計仿真平臺、光學(xué)測試平臺。截止到2022年底，微電子所硅光平臺已為約280個客戶提供了20批次MPW流片服務(wù)和約70次定制化流片服務(wù)，為我國硅光子技術(shù)研究和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力的支持。

中國科學(xué)院微電子研究所研究員李志華

中國科學(xué)院微電子研究所硅光平臺

珠海映訊芯光科技有限公司（簡稱：映訊芯光）CTO楊光華以《FMCW激光雷達(dá)硅光子芯片集成光學(xué)引擎》為主題，介紹了自動駕駛激光雷達(dá)發(fā)展趨勢，重點講解了FMCW固態(tài)激光雷達(dá)關(guān)鍵技術(shù)，包括FMCW、固態(tài)色散掃描、硅光集成，同時也說明了這些技術(shù)對激光器等核心器件提出的要求，最后闡述了映訊芯光在硅光芯片集成FMCW激光雷達(dá)核心技術(shù)領(lǐng)域的積累、優(yōu)勢和主要產(chǎn)品。映訊芯光由多年硅光技術(shù)積累和國際化背景的核心團(tuán)隊組成，擁有領(lǐng)先的硅光芯片設(shè)計、工藝集成、封裝測試、光電系統(tǒng)、信號分析處理、4D點云AI算法等軟硬件核心技術(shù)與持續(xù)創(chuàng)新能力，基于核心硅光芯片技術(shù)，向市場提供核心激光光源、光學(xué)引擎、光電集成器件與子系統(tǒng)，可支持產(chǎn)品快速定制和規(guī)模交付，實現(xiàn)供應(yīng)鏈國產(chǎn)化自主可控，賦能自動駕駛激光雷達(dá)和高端光傳感產(chǎn)業(yè)。

珠海映訊芯光科技有限公司CTO楊光華

FMCW激光雷達(dá)硅光子芯片集成光學(xué)引擎

深圳市奧斯諾工業(yè)有限公司（簡稱：奧斯諾工業(yè)）董事長劉曉平以《基于硅光芯片的光學(xué)陀螺儀》為主題，介紹了硅光芯片模擬應(yīng)用——光學(xué)陀螺儀引擎，這類芯片的開發(fā)有助于實現(xiàn)未來無人駕駛領(lǐng)域所需的高精度陀螺儀以及相關(guān)導(dǎo)航技術(shù)的低成本化。奧斯諾工業(yè)將干涉式光學(xué)檢測原理（高精度的工作原理）與MEMS芯片量產(chǎn)工藝（低成本的實現(xiàn)方式）相結(jié)合，提出基于硅光芯片的光學(xué)陀螺儀方案，并且擁有全自主知識產(chǎn)權(quán)微納集成/芯片化光學(xué)陀螺儀和慣導(dǎo)系列產(chǎn)品全套技術(shù)，包括硅光芯片設(shè)計研發(fā)能力、光纖光器件設(shè)計能力、生產(chǎn)工藝能力、生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)能力、各種導(dǎo)航算法等。目前，奧斯諾工業(yè)的首款硅光芯片陀螺儀樣機(jī)已經(jīng)驗證成果，零偏穩(wěn)定性小于0.5°/h，具有高可靠性、低成本、易量產(chǎn)等優(yōu)點。

深圳市奧斯諾工業(yè)有限公司董事長劉曉平

奧斯諾工業(yè)的首款硅光芯片陀螺儀樣機(jī)

國防科技大學(xué)副研究員于洋以《微納光電子器件設(shè)計與應(yīng)用研究》為主題，介紹了四大研究方向：片上集成光子器件設(shè)計、納米光子器件算法設(shè)計、超構(gòu)表面與超構(gòu)透鏡研究、低維材料與納米技術(shù)研究，重點講解了其科研團(tuán)隊在硅光子芯片設(shè)計、硅光芯片陀螺儀、片上光學(xué)相控陣、片上光計算、硅基光傳感等方面的研究進(jìn)展，并介紹了遺傳算法、深度學(xué)習(xí)、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)等應(yīng)用于片上光通信芯片、光計算機(jī)等領(lǐng)域；超構(gòu)表面與超構(gòu)透鏡應(yīng)用于片上集成光譜儀、波導(dǎo)型慣導(dǎo)芯片、結(jié)構(gòu)彩色顯示等應(yīng)用領(lǐng)域；低維材料與納米技術(shù)應(yīng)用于太赫茲和微波調(diào)控。

國防科技大學(xué)副研究員于洋

可調(diào)控的超構(gòu)透鏡

SilTerra高級市場總監(jiān)盧平強(qiáng)以《硅光子、MEMS和生命科學(xué)領(lǐng)域的制造技術(shù)》為主題，介紹了SilTerra代工廠的制造能力（2001年開始商業(yè)化生產(chǎn)）：8英寸晶圓、最小線寬達(dá)到90nm、設(shè)計產(chǎn)能為46000片晶圓/月（WSPM），已裝機(jī)產(chǎn)能為38000片晶圓/月、100% ASML scanners（I-Line, DUV & ArF）等。通過將其核心CMOS制造工藝擴(kuò)展到硅光子、MEMS、BCD、功率和氮化鎵（GaN）等先進(jìn)的“超越摩爾”技術(shù)中，SilTerra為消費(fèi)電子、生命科學(xué)、數(shù)據(jù)通信、汽車和工業(yè)等領(lǐng)域開發(fā)未來的“希望之星”產(chǎn)品。在硅光子領(lǐng)域，Silterra基于CMOS工藝平臺和硅光子相關(guān)專業(yè)知識開發(fā)出EMO（Electro Mechanical Optics）平臺，用于構(gòu)建光子功能模塊，從而能夠提供標(biāo)準(zhǔn)的工藝流程集成方案，并且可以為客戶靈活定制。

SilTerra高級市場總監(jiān)盧平強(qiáng)

SilTerra核心技術(shù)及新興技術(shù)

硅光子技術(shù)的核心內(nèi)容是研究如何將光電子器件“硅片化”、"小型化"，并與微電子芯片相集成，實現(xiàn)以光子和/或電子為載體的信息功能器件。此次研討會呈現(xiàn)了國內(nèi)企業(yè)和科研院所在硅光子平臺和產(chǎn)品方面取得的重要突破，硅光子技術(shù)正在傳感領(lǐng)域“開花結(jié)果”，有望在激光雷達(dá)、慣性傳感器、生物傳感器方向率先摘得量產(chǎn)果實。麥姆斯咨詢在此感謝各位嘉賓的精彩演講，以及眾多業(yè)界同仁的參與，期待下次與大家相會交流，共同進(jìn)步！

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